Hangzhou Shalom EO поставляет кристаллы или заготовки кристаллов LiNbO3 и пластины SAW диаметром 3 ", 4" и 6 ", некоторые типичные пластинчатые модули SAW приведены ниже, у нас есть запасные пластины для некоторых модулей.
Таблица 1.
Ориентация роста |
X,Y,Z, Y36, Y41,Y64,Y128, Y135 |
Диаметр |
2.5”, 3”, 4”, 6” or customized |
длина |
<120mm |
Полировка |
Both end surfaces inspection polishing |
Кристаллы или заготовки кристаллов LiNbO3
Примечание: заказные булы доступны по запросу.
Таблица 2. Пластины ПАВ LiNbO3 диаметром 3 ", 4" и 6 "
ориентация |
Диаметр |
Толщина |
Чистота поверхности (+) самолет (-) самолет |
Обработка поверхности |
Z-Cut
X-Cut
Y-Cut
36°Y –Cut
41°Y –Cut
49°Y -Cut
64°Y –Cut
128°Y –Cut
135°Y –Cut |
76.2mm
100.0mm
150.0mm |
0.25mm
0.35mm
0.50mm |
Mirror polished |
GC1000# or GC2000# |
White or Pyro-free |
Примечание. Индивидуальные пластины доступны по запросу.
Спецификации кристаллов LiNbO3
|
Ориентации кристаллов
|
X,Y,Z, Y36, Y41,Y64,Y128, Y135
|
Флуктуация ориентации
|
±0.30°
|
Диаметр
|
2.5", 3", 4" and 6", or customized
|
длина
|
50~100mm
|
кюри температура
|
1142±3℃
|
Ориентация первой справочной квартиры
|
As required ±0.2 0
|
Длина первого ссылочного Флэт
|
32±2 mm (4"),22±2 mm (3") inspection polished.
|
Вторая эталонная квартира
|
Available if required, the length shall be 12±3 mm (4"),10±3mm(3")
|
Внешность
|
Free of crack, pore, inclusion
|
Примечание: доступны були, заготовки, полированные пластины
Технические характеристики для пластин 3 "/ 4" / 5 "/ 6" LN
Технические характеристики для пластин 3 "/ 4" / 5 "/ 6" LN
|
Размер вафли
|
3”
|
4”
|
5”
|
6”
|
Диаметр (мм)
|
76.2
|
100mm
|
125mm
|
150mm
|
Допуск (± мм)
|
0.25
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
Первичная опорная плоскость (мм)
|
22mm or customized
|
32.5mm or customized
|
42.5mm or customized
|
57.5mm or customized
|
LTV (5x5 мм) (мкм)
|
<2
|
<2
|
<2
|
<2
|
TTV (мкм)
|
<8
|
<10
|
<15
|
<20
|
Лук (мкм)
|
±20
|
±25
|
±40
|
±40
|
Деформация (мкм)
|
≤30
|
≤40
|
≤50
|
≤50
|
PLTV (%) (5x5 мм)
|
≥90%
|
≥90%
|
≥90%
|
≥90%
|
Угол резки
|
X,Y,Z, Y36, Y41,Y64,Y128, Y135
|
Ориентационная квартира
|
All available
|
Тип поверхности
|
Single side polished/Double sides polished
|
Полированная сторона Ra (нм)
|
≤1
|
Критерии обратной стороны (мкм)
|
Gerneral is 0.2-0.5 or as customized
|
Округление
|
Compliant with SEMI M1.2 Standard/refer to IEC62276
|
Оптически легированный
|
Fe/Zn/MgO ect. For optical grade LT wafers
|
Внешность
|
Contamination: None
|
Particles Φ>0.3μm: ≤30
|
Saw Marks, striations: None
|
Scratch: None
|
Cracks, crowsfeet, Saw marks, strains: None
|
Пример чертежа