Shalom

Литиевый алюминат или LiAlO2 является потенциальным субстратом для тонких пленок нитрида III-V из-за его отличного несоответствия решетки GaN (<0,2% при <100>), химической стабильности при высокой температуре и экономичности. Параметр решетки кристалла литий-диоксидаллата (LiGaO2) и литий-оксида алюминия (γ) (LiAlO2) может хорошо сочетаться с пленкой нитрида галлия. Коэффициенты рассогласования составляют 0,2% и 1,4% только для LiGaO2 и LiAlO2, что намного меньше, чем у обычных используемых субстратов, таких как <0001> сапфир (14%), <100> MgO (3%), <0001> SiC (3,5 %). Пленка из нитрида галлия является очень важным материалом для синего, фиолетового, ультрафиолетового и белого светодиодов. Материал подложки, который подходит для хорошо вырабатываемой пленки, очень важен для получения хорошей эпитаксиальной пленки GaN.