В некоторых требовательных приложениях, таких как DUV (глубокий ультрафиолет), сверхмощные лазерные системы и кольцевые лазерные гироскопы, зеркала с высокой отражательной способностью и низким рассеянием являются необходимыми и критически важными компонентами. Для изготовления таких зеркал используются подложки с низким уровнем шероховатости, и часто применяется техника суперполировки для создания подложек с низким уровнем шероховатости. Компания Hangzhou Shalom EO разработала технику суперполировки для изготовления суперполированных оптик с шероховатостью менее 1Å. С использованием нашей классической линии производства суперполировки, системы измерения шероховатости атомарными силами и интерференционного тестера плоскостности Zygo, мы способны предоставлять суперполированные зеркала/подложки и зеркала для лазерных гироскопов в стабильном и превосходном качестве и объеме.
Уникальный классический метод полировки
Хотя метод магнито-релаксирующей жидкости считается перспективным для создания оптических поверхностей с еще более низкой шероховатостью, его высокая стоимость и низкая производительность делают его непрактичным для промышленного применения, поэтому большинство суперполированных оптик изготавливается с использованием классического метода полировки. Разработан уникальный процесс классической полировки для создания суперполированных оптик, для полировки используется плита с пастой, и шероховатость менее 1Å может быть достигнута с помощью нашего метода полировки. Испытания показали, что наши подложки и зеркала хорошо работают в системе лазерного гироскопа.
Особенности продукции:
- Разнообразие материалов подложек: BK7, ультрафиолетовый фьюзированный кремний, Zerodur, ZnSe, ZnS, Ge, Si, CaF2, MgF2, сапфир.
- Уникальная полировальная техника, разработанная на основе классического метода полировки.
- Шероховатость поверхности до 1Å.
- Доступные покрытия с высокой отражательной способностью (HR) и антиотражающее покрытие (AR).
- Применения: DUV-лазеры, высокомощные лазеры, гироскопы.
Результаты тестов:
1. Результаты с использованием атомарного силового микроскопа
Для первичной проверки рассеяния мы используем зеленый лазер мощностью 25 и 40 мВт, точка рассеяния может быть найдена по отраженному лазерному свету с поверхности оптики. Это быстрый и простой тест, используемый для первичной оценки шероховатости поверхности. Для окончательной проверки шероховатости или рассеяния используется атомарный силовой микроскоп (AFM) от Bruker для измерения конечной шероховатости полированных оптик. См. изображение ниже, сделанное с помощью системы AFM.
2. Результаты с использованием интерференционного модуля Zygo
Для измерения окончательной плоскостности полированных поверхностей используется модуль Zygo Lambda 2000 серии GPIXP-D6”.
