| Слои | Параметр | Технические характеристики | |||
| Верхний функциональный уровень | Материал | Ниобат лития | |||
| Диаметр | 3 дюйма | 4 дюйма | 6 дюймов | 8 дюймов | |
| Ориентация поверхности | Вырез по оси X или по запросу | ||||
| Основная плоская ориентация | по запросу | ||||
| Вторичная плоская ориентация | по запросу | ||||
| Толщина пленки | 300–600 нм | ||||
| Отделка лицевой стороны | Оптическая полировка | ||||
| Изолирующий слой | Среднее содержание скрытого оксида. Толщина | 4600 нм | 4700 нм | 4800 нм | / |
| Однородность толщины скрытого оксида | -5% | 0% | 5% | / | |
| Поддержка подложки | Материал | Si, Ln, сапфир, кварц и т. д. | |||
| Диаметр | 3 дюйма | 4 дюйма | 6 дюймов | 8 дюймов | |
| Толщина | 0,525 мм | 0,525 мм | 0,675 мм | 0,725 мм | |
| Метод увеличения количества устройств | CZ | CZ | ZVD | Гидротермальный | |
| Ориентация устройства | {100} | 0,5 | град. | ||
| Допанта устройства | Фосс | ||||
| Чистота поверхности | 10 | нм | |||
Ниобат лития на изоляторе (LNOI) представляет собой тонкие наноразмерные пленки ниобата лития (LiNbO3), ориентированные на использование POI (пьезоэлектрика на изоляторе), включая высокоскоростные модуляторы, ПАВ с высоким коэффициентом добротности. устройства и интегрированная нанофотоника.
Ниобат лития — универсальный и превосходный материал с высокими нелинейностями и исключительными электрооптическими, акустооптическими и пьезоэлектрическими свойствами. Кроме того, в последние годы разработка тонкопленочного ниобата лития или ниобата лития на изоляторе (LNOI) привела к радикальному прорыву в области интегрированной фотоники высокой плотности.
Характеристики объемного ниобата лития в значительной степени ограничено качеством сигнала, вносимыми потерями, полосой пропускания и т. д. В то время как LNOI поднял верхний предел. Устройства, изготовленные с использованием тонкой пленки LiNbO3, превосходят свои аналоги, использующие объемный LiNbO3. Тонкопленочный модулятор LiNbO3 уменьшает вредный эффект свободных несущих, обеспечивая преимущества компактных размеров, широкая полоса пропускания, высокая скорость передачи данных, соответствие драйверам напряжения КМОП и низкое энергопотребление. LNOI-фильтры отличаются широкой полосой пропускания, высокими частотами, лучшей теплопроводностью и устойчивостью к изменению температуры. LNOI также является перспективной технологией для изготовления резонаторов со сверхмалыми потерями для оптомеханики высоких частот, которые соответствуют рыночным тенденциям к широкой полосе пропускания и высоким радиочастотам следующего поколения.
С развитием Используя развитые технологии нанопроизводства, компания Shalom EO способна производить наноразмерные тонкие пленки ниобата лития (LNOI) размером 300-900 нм. Наши тонкие пленки LiNbO3 состоят из верхней функциональной ультратонкой пленки из ниобата лития, несущей подложки из кремния/кварца/ниобата лития/плавленого кварца и дополнительного изолирующего слоя SiO2. LNOI отличается низкими вносимыми потерями, надежной стабильностью и превосходно подходит для производства высокоскоростных электрооптических модуляторов и высокопроизводительных фильтров на ПАВ, а также подходит для таких приложений, как центры обработки данных, передача данных на большие расстояния, мобильная связь. телефоны, базовые станции и т. д.
Рисунок 1. Показана структура тонкой пленки ниобата лития/LNOI.
