| Спецификация | |
| Верхний функциональный уровень | |
| Диаметр | 3, 4, 6 дюймов |
| Ориентация | X, Y-42, Y-46.3, Z и т. д. |
| Материал | LiTaO3, LiTaO3, кварц и т. д. |
| Толщина | 5–50 мкм |
| Подложка | |
| Материал | Да |
| Толщина | 230–500 мкм |
Модули или типы:
| Монокристаллическая тонкая пленка танталата лития |
| Кремниевые подложки |
| Монокристаллическая тонкая пленка ниобата лития |
| Кремниевые подложки |
| Тонкая пленка монокристаллического кварца |
| Кремниевые подложки |
Ниобат лития на изоляторе толщиной 5–50 мкм (LNOI), танталат лития на изоляторе (LTOI) и кварц на изоляторе состоят из тонких пленок LN, LT или кварца, нанесенных на кремниевые подложки. Диапазон толщины верхнего функционального слоя составляет 5–50 мкм. LNOI, LTOI и кварц на изоляторе размером 5–50 мкм могут использоваться для температурной компенсации фильтра SAW Wave, с преимуществом лучшего контроля над температурными сдвигами, что приводит к простоте производства.
