Пластины и подложки
Тонкие пленки Shalom EO на изоляционных пластинах состоят из наноразмерных тонких пленок LN (ниобата лития), LT (танталата лития) или кварца в сочетании с кремниевыми изоляционными подложками. Эти тонкопленочные пластины имеют обширные области применения и могут использоваться в качестве высокоскоростных резонаторов, фильтров поверхностных акустических волн (ПАВ), ЭО-модуляторов, интегрированной нанофотоники и т. д. Вместо объемных подложек тонкопленочные пластины более выгодны с точки зрения компактности. , более высокая производительность, более низкие затраты и потенциал для внедрения новых разработок.
Шалом ЭО предлагает различные виды тонких пленок на изоляционных пластинах. Спецификации включают ультратонкие пленки LiNbO3/LiTaO3 толщиной 300–900 нм, тонкие пленки LiNbO3/LiTaO3/Quartz толщиной 5–50 мкм и отдельно стоящие тонкопленочные пластины LiTaO3. (Обратите внимание, что 300–900 нм и 5–50 мкм здесь относятся к толщине верхних функциональных слоев, при этом толщина дополнительного изолирующего слоя, электродного слоя и кремниевой подложки не учитывается.)
Ниобат лития (LiNbO3) — универсальный и превосходный материал с высокими нелинейностями и исключительными электрооптическими, акустооптическими и пьезоэлектрическими свойствами. Кроме того, в последние годы разработка тонкопленочного ниобата лития или ниобата лития на изоляторе (LNOI) привела к радикальному прорыву в области интегрированной фотоники. LNOI отличается низкими вносимыми потерями и надежной стабильностью, превосходно подходит для производства высокоскоростных электрооптических модуляторов и высокопроизводительных фильтров на ПАВ и подходит для таких приложений, как центры обработки данных, передача данных на большие расстояния, мобильные телефоны. , базовые станции и т. д. Танталат лития (LiTao3) обладает превосходными пьезоэлектрическими и пироэлектрическими свойствами, а LTOI используется для производства входных радиочастотных фильтров и пироэлектрических инфракрасных детекторов.
По вашему запросу могут быть изготовлены различные размеры и ориентации пластин и подложек.
